アジレント・テクノロジー株式会社 – 半導体に関するホワイトペーパー各種

集積回路の性能向上やデバイスの歩留まりの改善がますます強く求められるようになっています。これらの要求に応えるためには、製造時にウエハ基板およびデバイス表面上の汚染を抑制することが不可欠です。